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質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調節到測量的滿量程,在工作的過程當中,控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降,即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa,若壓...
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大流量氣體質量流量控制器(MassFlowController縮寫為MFC)用于對氣體的質量流進行精密測量和控制。它們在半導體集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保等多種領域的科研和生產中有著重要的作...
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通過使用3臺GT210D電子壓力控制器(EPC)控制VOC監測設備中的氣路。其中2臺EPC用于FID檢測器氫氣和空氣流量控制,另外1臺EPC用于填充柱載氣流量控制。應用方案(以下為建議應用,用戶可根據實際情況進行調整):...
6-15
通過使用4臺GT210D電子壓力控制器(EPC)控制VOC監測設備中的氣路。其中2臺EPC用于FID檢測器氫氣和空氣流量控制,另外2臺EPC用于填充柱載氣流量控制。應用方案(以下為建議應用,用戶可根據實際情況進行調整):...