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質量流量控制器
產(chǎn)品型號： G100C
所屬分類：G100C質量流量控制器
更新時間：2024-07-01
瀏覽次數(shù)：7581
簡要描述：具有高精度、高分辨率、高重復性和高可靠性等特點。產(chǎn)品內置多種氣體和混合氣體。
詳細說明：
G100C質量流量控制器特點
l 高精度、高分辨率控制
l DC 9-36V寬電壓供電
l 低功率，功率＜2W
l 集成40種基礎氣體種類
l 可自定義10種混合氣體
l 控制參數(shù)自整定功能
l 數(shù)字化控制，RS-485 Modbus RTU通信模式
l 寬流量量程范圍
l 無需預熱
l 無安裝方向限制
l 具有高重復性和高可靠性
l 采用電磁比例閥，使用壽命長，響應速度快
l 自帶溫度補償，補償范圍0-50℃
l 內部閉環(huán)控制，具有高穩(wěn)定性
l 小封裝尺寸
量程及精度簡介
l 可用量程：
n 最大0-20slpm
n 最小0-10sccm
n 常備量程請參考選型表
l 量程比：100:1
l 滿量程精度：±0.5%
l 讀取精度：±1%
l 可重復性：±0.5%FS
l 響應時間：＜100ms（調節(jié)PID控制參數(shù)可縮短響應時間）
數(shù)字式設計簡介
G100C系列質量流量控制器標配高精度傳感器和數(shù)字電路，數(shù)字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G100C系列采用標準的RS-485 Modbus RTU通信模式。RS-485總線最高可擴展至255臺設備同時使用。
應用領域
l 氣相和液相色譜儀
l 半導體工藝
l 環(huán)境監(jiān)測設備
l 微反應裝置及材料制備實驗裝置（CVD）
l 氣體發(fā)生器
l 配氣混氣系統(tǒng)
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