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    質(zhì)量流量控制器

    質(zhì)量流量控制器

    產(chǎn)品型號: G100C

    所屬分類:G100C質(zhì)量流量控制器

    更新時間:2024-07-01

    瀏覽次數(shù):8008

    簡要描述:具有高精度、高分辨率、高重復性和高可靠性等特點。產(chǎn)品內(nèi)置多種氣體和混合氣體。

    詳細說明:

    G100C質(zhì)量流量控制器特點

    高精度、高分辨率控制

    DC 9-36V寬電壓供電

    低功率,功率<2W

    集成40種基礎(chǔ)氣體種類

    可自定義10種混合氣體

    控制參數(shù)自整定功能

    數(shù)字化控制,RS-485 Modbus RTU通信模式

    寬流量量程范圍

    無需預熱

    無安裝方向限制

    具有高重復性和高可靠性

    采用電磁比例閥,使用壽命長,響應速度快

    自帶溫度補償,補償范圍0-50

    內(nèi)部閉環(huán)控制,具有高穩(wěn)定性

    小封裝尺寸

     

    量程及精度簡介

    可用量程:

    最大0-20slpm

    最小0-10sccm

    常備量程請參考選型表

    量程比:100:1

    滿量程精度:±0.5%

    讀取精度:±1%

    可重復性:±0.5%FS

    響應時間:<100ms(調(diào)節(jié)PID控制參數(shù)可縮短響應時間)

     

    數(shù)字式設(shè)計簡介

    G100C系列質(zhì)量流量控制器標配高精度傳感器和數(shù)字電路,數(shù)字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G100C系列采用標準的RS-485 Modbus RTU通信模式。RS-485總線最高可擴展至255臺設(shè)備同時使用。

     

    應用領(lǐng)域

    氣相和液相色譜儀

    半導體工藝

    環(huán)境監(jiān)測設(shè)備

    微反應裝置及材料制備實驗裝置(CVD

    氣體發(fā)生器

    配氣混氣系統(tǒng)


     





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