氣體質(zhì)量流量計

產(chǎn)品型號：

所屬分類：G300質(zhì)量流量計

更新時間：2024-07-01

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簡要描述：G300熱式氣體質(zhì)量流量計標(biāo)配高精度傳感器和數(shù)字電路，數(shù)字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G300 系列采用標(biāo)準(zhǔn)的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 總線最高可擴(kuò)展至 255 臺設(shè)備同時使用。

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詳細(xì)說明：

G300 質(zhì)量流量計特點(diǎn)

? 高精度、高分辨率控制

? 低功率，功率＜0.5W

? 集成 20 種基礎(chǔ)氣體種類

? 可自定義 10 種混合氣體

? 數(shù)字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式

? 寬流量量程范圍

? 無需預(yù)熱

? 無安裝方向限制

? 具有高重復(fù)性和高可靠性

? 自帶溫度補(bǔ)償，補(bǔ)償范圍 0-50℃

? 具有高穩(wěn)定性

? 小封裝尺寸量程及精度簡介

? 可用量程：

? 最大 0-50slpm

? 最小 0-1sccm

? 常備量程請參考選型表

? 量程比：1000:1

? 滿量程精度：±0.2%

? 讀取精度：±0.8%

? 可重復(fù)性：±0.2%FS

數(shù)字式設(shè)計簡介

G300 系列質(zhì)量流量計標(biāo)配高精度傳感器和數(shù)字電路，數(shù)字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G300 系列采用標(biāo)準(zhǔn)的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 總線最高可擴(kuò)展至 255 臺設(shè)備同時使用。

應(yīng)用領(lǐng)域

? 氣相和液相色譜儀

? 半導(dǎo)體工藝

? 環(huán)境監(jiān)測設(shè)備

? 微反應(yīng)裝置及材料制備實(shí)驗(yàn)裝置（CVD）

? 氣體發(fā)生器

? 配氣混氣系統(tǒng)

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